基于MEMS的温差式气体流量传感器
基本信息
| 申请号 | CN202022368269.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212903385U | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN212903385U | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | G01F1/692(2006.01)I;G01F1/684(2006.01)I;G01F1/68(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 熊金龙;陆强 | 申请（专利权）人 | 无锡芯灵微电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李明;赵吉阳 |
| 地址 | 214072江苏省无锡市滨湖区滴翠路100号创意产业园9幢1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开提供一种基于MEMS的温差式气体流量传感器，所述温差式气体流量传感器包括：基底，包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面；加热元件，所述加热元件悬空设置在所述第一表面上；温差测量组件，所述温差测量组件设置在所述加热元件外侧，以根据待测气体流过所产生的温差信息输出所述待测气体的气体流量信息。本公开的温差式气体流量传感器，一方面，其基于MEMS结构，可以使得整个温差式气体流量传感器结构紧凑；另一方面，采用悬空设置的加热元件，可以大大降低气体流量传感器在使用中的功耗；最后一方面，采用温差测量气体流量的原理，可以大大提高流量测量精度和测量范围，可以广泛应用于汽车、生物、医疗、消费电子等各个领域。 |
