一种窄带红外探测器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010332328.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111430496A | 公开（公告）日 | 2020-07-17 |
| 申请公布号 | CN111430496A | 申请公布日 | 2020-07-17 |
| 分类号 | H01L31/09;H01L31/18 | 分类 | - |
| 发明人 | 缪中林;孟祥建;陈效双 | 申请（专利权）人 | 魔童智能科技（扬州）有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 魔童智能科技（扬州）有限公司 |
| 地址 | 225000 江苏省扬州市维扬经济开发区内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了光电探测技术领域内的一种窄带红外探测器，包括：绝缘衬底；金属下电极，设置于绝缘衬底上方；铁电功能层，设置于金属下电极上方；金属上电极，设置于铁电功能层上方；等离激元结构，设置于金属上电极上方，等离激元结构为由多个金属方块构成的点阵。该窄带红外探测器无需与棱镜或窄带滤光片组合，仅调节金属方块点阵结构参数即可实现对特定红外光的选择性吸收与感知，结构简单，成本低，稳定性高。 |
