一种光栅线位移传感器

基本信息

申请号 CN201010574909.X 申请日 -
公开(公告)号 CN102095378B 公开(公告)日 2013-07-03
申请公布号 CN102095378B 申请公布日 2013-07-03
分类号 G01B11/02(2006.01)I;G01D3/036(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 张吉鹏;孟辉;吴宏圣;曾琪峰;孙强 申请(专利权)人 长春光机数显技术有限责任公司
代理机构 长春菁华专利商标代理事务所 代理人 张伟
地址 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种光栅线位移传感器。一种光栅线位移传感器,其包括标尺光栅、沿标尺光栅移动的滑架、设置在滑架上的光源、指示光栅和探测器,该光源发出的光线依次经过该标尺光栅及该指示光栅,形成特定的光信号,该探测器捕捉该光信号进行光电转化,从而完成位移量到光电信号的转换。该指示光栅上设置多个窗口,每一窗口内均刻划有多条刻线形成的图案,该每一刻线方向与该测量方向成一不为90°的夹角。该光栅线位移传感器能提高光电信号质量。