一种光栅线位移传感器
基本信息
申请号 | CN201010574909.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN102095378B | 公开(公告)日 | 2013-07-03 |
申请公布号 | CN102095378B | 申请公布日 | 2013-07-03 |
分类号 | G01B11/02(2006.01)I;G01D3/036(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 张吉鹏;孟辉;吴宏圣;曾琪峰;孙强 | 申请(专利权)人 | 长春光机数显技术有限责任公司 |
代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所 | 代理人 | 张伟 |
地址 | 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种光栅线位移传感器。一种光栅线位移传感器,其包括标尺光栅、沿标尺光栅移动的滑架、设置在滑架上的光源、指示光栅和探测器,该光源发出的光线依次经过该标尺光栅及该指示光栅,形成特定的光信号,该探测器捕捉该光信号进行光电转化,从而完成位移量到光电信号的转换。该指示光栅上设置多个窗口,每一窗口内均刻划有多条刻线形成的图案,该每一刻线方向与该测量方向成一不为90°的夹角。该光栅线位移传感器能提高光电信号质量。 |
