自由基-阳离子混杂光固化性组合物及感光性抗蚀干膜
基本信息
申请号 | CN202010976789.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112180680A | 公开(公告)日 | 2021-01-05 |
申请公布号 | CN112180680A | 申请公布日 | 2021-01-05 |
分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 邹应全;庞玉莲;辛阳阳;丁艳花;B·斯特雷梅尔 | 申请(专利权)人 | 四川乐凯新材料有限公司 |
代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 四川乐凯新材料有限公司;董旭辉 |
地址 | 071051 河北省保定市和润路569号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种自由基‑阳离子混杂光固化性组合物,其包含(a)至少一种碱溶性聚合物,(b)至少一种光聚合性化合物,(c)至少一种红外吸收光敏剂和(d)至少一种光聚合引发剂,其中,作为组分(b)的光聚合性化合物含有(b1)至少一种自由基聚合性化合物和(b2)至少一种阳离子聚合性化合物,其选自链烯基醚类化合物和/或环氧乙烷类化合物和/或氮杂环丙烷类化合物和/或氧杂环丁烷类化合物,作为组分(c)的红外吸收光敏剂包含至少一种多甲川花菁素化合物。本发明的自由基‑阳离子混杂光固化性组合物适用于制备感光性抗蚀干膜。 |
