一种半导体晶圆的定位装置
基本信息
| 申请号 | CN201520045879.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204537999U | 公开（公告）日 | 2015-08-05 |
| 申请公布号 | CN204537999U | 申请公布日 | 2015-08-05 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪良恩;张小明;刘晓燕 | 申请（专利权）人 | 池州市九华恒昌产业投资有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 安徽安芯电子科技有限公司;安徽安芯电子科技股份有限公司 |
| 地址 | 247100 安徽省池州市经济开发区富安电子信息产业园10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体晶圆的定位装置，包括：定位凹槽、光罩片及抽真空部件；所述定位凹槽内设有定位线槽；所述定位线槽的深度为190-210um，所述定位线槽的尺寸和形状均与所述晶圆相同；所述光罩片在将第一张晶圆放入所述定位线槽时，与所述定位凹槽的一外周边固定；所述抽真空部件与所述定位凹槽相连，用于在放入所述晶圆时，抽空所述晶圆和所述光罩片两者之间的空气，以使所述光罩片与所述晶圆贴合，能够解决现有技术中人工对线准确度不高，导致降低产品良率及生产效率、员工易疲劳的问题。 |
