一种晶圆测试装置
基本信息
| 申请号 | CN201520010166.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204348687U | 公开（公告）日 | 2015-05-20 |
| 申请公布号 | CN204348687U | 申请公布日 | 2015-05-20 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪良恩;张小明;马晓飞 | 申请（专利权）人 | 池州市九华恒昌产业投资有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 安徽安芯电子科技有限公司;安徽安芯电子科技股份有限公司 |
| 地址 | 247100 安徽省池州市经济开发区富安电子信息产业园10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆测试装置，包括：测试笔、用于传输所述测试笔的测试结果的信号输出部件；所述测试笔包括用于测试时与晶圆上的晶粒接触的笔头端；所述笔头端的外壁设置有用于指示测试结果的发光部，使得在测试笔在试晶圆时，测试的结果可以直观、醒目的、快速地呈现在操作者面前，操作者毋须频繁抬头查看测试结果，并对测试结果判断，有效提高测试效率和准确性，也减少了操作者的疲劳，提高生产效率。 |
