光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置
基本信息
| 申请号 | CN201520028532.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204347432U | 公开（公告）日 | 2015-05-20 |
| 申请公布号 | CN204347432U | 申请公布日 | 2015-05-20 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 汪良恩;汪曦凌;伍银辉 | 申请（专利权）人 | 池州市九华恒昌产业投资有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 安徽安芯电子科技有限公司;安徽安芯电子科技股份有限公司 |
| 地址 | 247100 安徽省池州市经济开发区富安电子信息产业园10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一种光刻胶涂布吸头和光刻胶涂布装置，所述光刻胶涂布吸头的形状为凸台型，包括：底盘和位于底盘上表面，且与底盘固定连接的托盘，其中，所述托盘的直径小于待涂布晶圆的直径，用于放置待涂布晶圆，所述底盘的直径等于待涂布晶圆的直径，用于对所述待涂布晶圆的放置位置进行定位。由此可见，本实用新型实施例所提供的光刻胶涂布吸头在用于光刻胶涂布时，可以利用所述底盘，通过目视的方式对待涂布晶圆的放置位置进行定位，从而解决了现有技术中涂布时不能通过目视的方式，将晶圆的中心和涂布吸头的中心重合，使得在光刻胶涂布时，因甩胶过程中各个位置离心力不均匀而导致光刻胶涂布不均匀，产生边缘锯齿等现象的问题。 |
