半导体芯片分向测试装置
基本信息
| 申请号 | CN201420692931.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204289398U | 公开（公告）日 | 2015-04-22 |
| 申请公布号 | CN204289398U | 申请公布日 | 2015-04-22 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪良恩;汪曦凌 | 申请（专利权）人 | 池州市九华恒昌产业投资有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 安徽安芯电子科技有限公司;安徽安芯电子科技股份有限公司 |
| 地址 | 247100 安徽省池州市经济开发区富安电子信息产业园10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体分向测试装置，包括：底座，所述底座水平放置，所述底座的上表面具有多个容纳被检测芯片的放置槽，且所述放置槽的深度不大于所述被检测芯片的厚度，所述放置槽的底部具有至少一个第一通孔，所述底座具有第二通孔，所述第二通孔与所述放置槽的第一通孔相连通；真空泵，所述真空泵与所述底座的第二通孔密封连接，用于降低所述底座、所述第一通孔、所述第二通孔和所述被检测芯片构成的密闭空间内的气压。所述被检测芯片有选择性的摇出所述半导体芯片分向测试装置，分向速度快，准确度高，对所述被检测芯片的损伤小。 |
