一种晶圆扩散用石英管及其进气连接结构
基本信息
| 申请号 | CN201420769305.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204281897U | 公开（公告）日 | 2015-04-22 |
| 申请公布号 | CN204281897U | 申请公布日 | 2015-04-22 |
| 分类号 | C30B31/10(2006.01)I;C30B31/16(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 汪良恩;张小明;安启跃 | 申请（专利权）人 | 池州市九华恒昌产业投资有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 安徽安芯电子科技有限公司;安徽安芯电子科技股份有限公司 |
| 地址 | 247100 安徽省池州市经济开发区富安电子信息产业园10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆扩散用石英管，将石英管尾管端部烧制一段外径较进气管内径略大的细管，具有以下优点：1)取消炉管的球磨接头，直接在管尾上烧制一段连接进气管的小管，降低了石英管管尾加工难度，由传统石英管的三个部件改变为一个部件，石英管的制作成本大大降低。2)直接将进气管连接在炉管上，彻底改善了传统的晶圆扩散石英管由于夹具松动、球磨接口碎裂而导致反应气体泄漏现象，使晶圆扩散工艺控制变得稳定、可靠。本实用新型实施例还提供了一种应用上述石英管的进气连接结构，可获得密封性较好的连接效果。 |
