车用纳米隔热玻璃的真空溅射镀膜的供气装置
基本信息
| 申请号 | CN201820940926.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208632636U | 公开（公告）日 | 2019-03-22 |
| 申请公布号 | CN208632636U | 申请公布日 | 2019-03-22 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I; C03C17/00（2006.01）I; C03C17/245（2006.01）I; C03C17/22（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王志刚; 张波; 刘建超; 章其初 | 申请（专利权）人 | 常州长江玻璃有限公司 |
| 代理机构 | 常州市华信天成专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 肖兴江 |
| 地址 | 213000 江苏省常州市新北区薛家镇顺园路35号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种车用纳米隔热玻璃的真空溅射镀膜的供气装置，包括进气管、上进气支管、下进气支管、上出气管以及下出气管，上进气支管的一端与进气管连接，上进气支管的另一端伸入到镀膜真空室中与位于镀膜真空室内的上出气管连接，下进气支管的一端与进气管连接，下进气支管的另一端伸入到镀膜真空室中与位于镀膜真空室内的下出气管连接，所述上出气管以及下出气管上均安装有多个喷嘴，每个喷嘴上设有多个喷气孔。本实用新型能够使镀在玻璃上的膜层均匀。 |
