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一种适用于高PPI的精细金属掩膜板制作方法

基本信息

申请号	CN202010270343.5	申请日	-
公开（公告）号	CN111364002A	公开（公告）日	2020-07-03
申请公布号	CN111364002A	申请公布日	2020-07-03
分类号	C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	隋鑫;宋平;晁亮;尹小江	申请（专利权）人	山东奥莱电子科技有限公司
代理机构	济南舜昊专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	刘真
地址	276800 山东省日照市高新区创业服务中心2号楼804室
法律状态	-

摘要

本发明涉及金属掩模板制作技术领域，具体涉及一种适用于高PPI的精细金属掩膜板制作方法。包括如下制作步骤：(1)根据高PPI像素的排列，制备与之对应的低PPI精细金属掩膜板；(2)使用张网机将低PPI掩膜张网并焊接到框架上，制成半成品精细金属掩膜板，张网完成后对掩膜进行涂覆PI，形成膜层；(3)使用曝光机对涂覆PI后的半成品进行曝光即图形定义，再进行显影完成图形显现，在原有的大开口内加工了小开口,形成高PPI掩膜板开口效果。本发明先通过张网简单的低PPI掩膜制品，然后再经过涂覆PI和曝光显影形成较小的高PPI开口，以实现高PPI掩膜板张网。达到高PPI的开孔效果，且避免了蚀刻高PPI掩膜时产生的良率低、原材料薄、蚀刻困难等问题。