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一种极板间距可调容性耦合等离子体处理系统及其方法

基本信息

申请号 CN201810391380.4 申请日 -
公开（公告）号 CN110416046B 公开（公告）日 2022-03-11
申请公布号 CN110416046B 申请公布日 2022-03-11
分类号 H01J37/32（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 倪图强;梁洁;涂乐义;王伟娜 申请（专利权）人 中微半导体设备（上海）股份有限公司
代理机构 上海元好知识产权代理有限公司 代理人 包姝晴
地址 201201上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种极板间距可调容性耦合等离子体处理系统及其方法，所述系统包含：上电极、下电极、桥联环、外环导轨、接地环、传片门；下电极通过桥联环连接到外环导轨构成下电极系统；外环导轨沿着刻蚀腔体内壁上下移动，且在某一特定位置上设置接地环，使外环导轨固定在所述接地环完成接地状态，此时外环导轨把传片门完全阻挡和屏蔽。所述系统克服传统技术方案当中存在的无法规避传片门而导致的刻蚀工艺不对称问题及刻蚀工艺所需极板间距较大时传片门处等离子体无效约束等缺陷。