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一种IGBT键合机DBC吸附固定装置

基本信息

申请号	CN202022258514.0	申请日	-
公开（公告）号	CN212810263U	公开（公告）日	2021-03-26
申请公布号	CN212810263U	申请公布日	2021-03-26
分类号	H01L21/683(2006.01)I;H01L29/739(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	王凯锋;袁磊;邱道权	申请（专利权）人	合肥中恒微半导体有限公司
代理机构	合肥律众知识产权代理有限公司	代理人	赵娟
地址	230000安徽省合肥市高新区创新大道与明珠大道交叉口106号5号楼2层C区
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种IGBT键合机DBC吸附固定装置，包括两块固定板、DBC料板以及安置于DBC料板上的多块DBC基板，两块所述固定板之间水平设置有可竖直升降活动的DBC定位板，所述DBC定位板的下方相对平行设置有可竖直升降活动的吸盘组件，所述DBC料板活动设置于DBC定位板和吸盘组件之间的平面上；所述吸盘组件是由底板上表面设置有与DBC基板相对应的多个吸附单元构成，所述吸附单元通过气孔与底板内部的气路连通，且气路的出口通过支管和真空电磁阀外接真空抽吸设备，且真空电磁阀上设置有真空压力表，所述真空压力表与设备控制器电性连接。该装置，可实现对于待键合加工的DBC基板进行快速准确的定位，定位效率高，自动化程度高，从而加快了生产效率。