一种纳米复合涂层及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010288838.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111304618A | 公开（公告）日 | 2020-06-19 |
| 申请公布号 | CN111304618A | 申请公布日 | 2020-06-19 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 符国建;祝新发;陆红妹;孟漪;李伟;牛景锐 | 申请（专利权）人 | 上海工具厂有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 赵晓琳 |
| 地址 | 200093上海市杨浦区军工路1060号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及纳米复合涂层技术领域，提供了一种(AlCrTiZrMo)‑Six‑N纳米复合涂层及其制备方法。本发明提供的(AlCrTiZrMo)‑Six‑N纳米复合涂层包括(AlCrTiZrMo)N基体相和Si3N4界面相；所述Si3N4界面相将(AlCrTiZrMo)N基体相分成了若干个基体相单元，每个基体相单元外侧被Si3N4界面相环绕包围。本发明通过Si掺杂使得涂层形成界面相Si3N4包裹纳米晶(AlCrTiZrMo)N的纳米复合结构，界面相阻碍了(AlCrTiZrMo)N纳米晶粒沿晶界的滑移，抑制了纳米复合膜的微观变形，以达到全面提高硬度和弹性模量的效果。 |
