一种复合涂层薄膜及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202110849992.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113564526A | 公开（公告）日 | 2021-10-29 |
| 申请公布号 | CN113564526A | 申请公布日 | 2021-10-29 |
| 分类号 | C23C14/06（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 符国建;孟漪;祝新发;王诗凯;陆红妹;李伟;杜浩明 | 申请（专利权）人 | 上海工具厂有限公司 |
| 代理机构 | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨金娟 |
| 地址 | 200093上海市杨浦区军工路1060号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于材料涂层技术领域，具体涉及一种复合涂层薄膜及其制备方法和应用。本发明提供的复合涂层薄膜，包括交替层叠的ZrN模板层和TiAlSiN调制层，直接与基体表面接触的为ZrN模板层；所述TiAlSiN调制层包括TiAlN相和Si3N4相。本发明在TiAlSiN调制层中掺杂Si元素，使调制层产生同时具有TiAlN和Si3N4多相态。调制层的多相化增加了涂层中各相之间的弹性模量差，也增强了各层之间的交变应力场。本发明提供的复合涂层薄膜中多个相邻的ZrN层和TiAlSiN层之间呈共格外延生长，该结构阻碍了纳米晶粒沿晶界的滑移，使复合涂层进一步强化。 |
