一种光学加工中获得离轴非球面面型特征的方法

基本信息

申请号 CN202010249757.X 申请日 -
公开(公告)号 CN111307102B 公开(公告)日 2021-07-20
申请公布号 CN111307102B 申请公布日 2021-07-20
分类号 G01B21/20;G02B27/00 分类 测量;测试;
发明人 焦长君;舒勇;陈永超;王波;王斌;崔嘉伟;张真 申请(专利权)人 中科院南京天文仪器有限公司
代理机构 南京知识律师事务所 代理人 李湘群
地址 210042 江苏省南京市玄武区花园路6-10号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种光学加工中获得离轴非球面面型特征的方法,先根据镜面面型要求获得离轴角;然后构造出过子镜xy坐标面任意点、且平行于离轴非球面坐标系z轴的直线,通过求解此直线与非球面的交点,获得离轴非球面坐标系xy平面内点在离轴非球面上的投影;通过几何距离、或坐标变换矩阵获得离轴非球面坐标系中面型点特征;在母镜坐标系中,利用交点坐标获得该点处的法向,而后利用坐标变换获得离轴非球面坐标系中面型法向特征。最后利用迭代方法获得等高离轴非球面离轴角并更新获得面型特征信息。本发明的利用平行于离轴非球面z轴直线与非球面间交点解析求解和坐标变换法直接得到离轴非球面面型点以及法向特征,提高了获取精度。