一种光刻机静电消除装置
基本信息
| 申请号 | CN202121514951.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215222563U | 公开（公告）日 | 2021-12-17 |
| 申请公布号 | CN215222563U | 申请公布日 | 2021-12-17 |
| 分类号 | H05F3/04（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 顾大元;乔畅君;韩玲玲;张联盟 | 申请（专利权）人 | 深圳市中明科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈付玉 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区福永街道新田大道71-2号立新湖福宁高新产业园B栋6-7层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及光刻机静电处理的技术领域，特别是涉及一种光刻机静电消除装置，包括固定机构，固定机构设有两个，两个固定机构上均安装有立柱，立柱之间活动设置有连杆，连杆的下方设置有静电消除板。本实用新型通过设置固定机构，进而可通过固定机构将整个静电消除安装在光刻机上，便于对其进行快速安装，实用性高；通过在立柱之间活动设置有连杆，进而便于根据实际需求，调节固定机构之间的间距，进而可将固定机构安装在不同尺寸的光刻机上，实用性高；通过设置静电消除棒，可在一定程度上对光刻机的晶圆表面进行静电消除，通过设置多根等离子棒，可进一步的对晶圆表面进行静电消除，实用性高。 |
