一种光刻机防静电保护装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202110757118.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113426227A | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN113426227A | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | B01D47/06（2006.01）I;C09K3/16（2006.01）I;H05K7/20（2006.01）I;C02F9/02（2006.01）I;C02F103/18（2006.01）N | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 顾大元;乔畅君;韩玲玲;张联盟 | 申请（专利权）人 | 深圳市中明科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈付玉 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区福永街道新田大道71-2号立新湖福宁高新产业园B栋6-7层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻机防静电保护装置，它包括外壳，所述外壳的顶部安装有第一PVC板，所述外壳的后表面安装有第二PVC板，所述外壳的底部一侧安装有底板，所述外壳的一侧安装有检测喷雾机构；本方案提供的光刻机防静电保护装置，通过启动电机，电机驱动丝杆在外壳内部转动，使丝杆上的活动板在丝杆的转动下在滑槽内部横向移动，在活动板移动时，带动底部的固定板以及安装在固定板上的颗粒物传感器、静电检测传感器以及雾化喷头移动，通过颗粒物传感器和静电检测传感器能够对外壳内部空气中以及光刻机上的颗粒物以及静电进行检测，通过启动水泵抽取水箱中的静电消除剂进行喷洒，从而对颗粒物以及静电进行清除。 |
