一种透明导电薄膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110068191.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112908517A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112908517A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | H01B5/14;H01B13/00 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 虞旺;刘克永 | 申请（专利权）人 | 大正（江苏）微纳科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京柏杉松知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘继富;王春伟 |
| 地址 | 212001 江苏省镇江市高新区南徐大道298号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种透明导电薄膜及其制备方法，其中，透明导电薄膜由下至上依次包括透明基材、第一导电层、第二导电层和第三导电层，第一导电层和第三导电层中各自独立地含有导电氧化物，第二导电层中含有金属或碳材料，第一导电层的厚度为25～100nm，第二导电层的厚度为50～150nm，第三导电层的厚度为5～50nm。通过本发明制备方法制得的透明导电薄膜具有低方阻和高透光率，并且更不易出现开裂或翘曲，具有更好的性能。 |
