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一种用于狭缝涂布模头与载片平台之间的调平装置

基本信息

申请号 CN202021558657.7 申请日 -
公开（公告）号 CN213078998U 公开（公告）日 2021-04-30
申请公布号 CN213078998U 申请公布日 2021-04-30
分类号 B05C11/00 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 王中洋 申请（专利权）人 大正（江苏）微纳科技有限公司
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 陈兴旺
地址 212132 江苏省镇江市润州区南徐大道298号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于狭缝涂布模头与载片平台之间的调平装置，包括测试组件及调平缓冲组件，测试组件包括电源、灯珠及导电膜，灯珠包含并联设置的灯珠一、灯珠二，电源的一个电极电连接于灯珠，导电膜设有两个绝缘带；调平缓冲组件包括载片平台、底板，载片平台、底板之间通过若干等高的弹性柱连接，调平缓冲组件还设有调平装置；电源的另一电极通过模头导线连接于模头。本实用新型的调节精度高，对操作人员的技术及经验要求较低，经过测试，采用本实施例的调平装置，其误差可控制在1um以内；可提高操作的重复性，降低操作要求，技术成本相对也更低，保证成膜的质量，并减小模头及狭缝唇口损坏的风险。