一种晶圆自动分选机
基本信息
| 申请号 | CN202111158975.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113751368A | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN113751368A | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | B07C5/342（2006.01）I | 分类 | 将固体从固体中分离；分选; |
| 发明人 | 卢国强 | 申请（专利权）人 | 深圳市优界科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市查策知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曾令安 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙华区观澜街道君子布社区凌屋工业路9号厂房201 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种晶圆自动分选机，属于晶圆生产设备技术领域，包括底箱、光学检测机、晶圆支撑板、晶圆盛放部、第一驱动部、第二驱动部、抽吸部以及转盘，所述晶圆支撑板活动安装在所述转盘侧壁，所述第一驱动部安装在所述底箱内部，第一驱动部输出端与所述转盘相连，用于带动所述转盘间歇转动，所述晶圆盛放部设置在所述底箱一侧，用于对待检测的晶圆进行盛放，所述第二驱动部以及所述抽吸部均安装在所述转盘一侧。本发明实施例相较于现有技术，能够实现待检测晶圆的自动上料，从而提高了晶圆的安装精度以及检测效率，极大程度的降低了晶圆的检测成本。 |
