一种高精度晶圆分选机
基本信息
| 申请号 | CN202110965982.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113649297A | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN113649297A | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | B07C5/02（2006.01）I;B07C5/34（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I;B07C5/38（2006.01）I | 分类 | 将固体从固体中分离；分选; |
| 发明人 | 卢国强 | 申请（专利权）人 | 深圳市优界科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京维正专利代理有限公司 | 代理人 | 黄勇 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙华区观澜街道君子布社区凌屋工业路9号厂房201 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种高精度晶圆分选机，涉及晶圆分选机的技术领域，包括箱体，箱体中设置有放置台，放置台上设置有分选机构，分选机构包括吸附机构，放置台上转动连接有转动座，吸附机构设置在转动座上，放置台上设置有平移机构，平移机构上设置有分选卡匣，平移机构用于带动分选卡匣平移，分选卡匣用于安装晶圆，分选机构用于分选设置在分选卡匣上的晶圆。本申请具有提升分选机构选取晶圆环上晶粒的精度的效果。 |
