一种定向/单晶真空炉用气液双介质冷却结晶环
基本信息
申请号 | CN201920453603.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210065976U | 公开(公告)日 | 2020-02-14 |
申请公布号 | CN210065976U | 申请公布日 | 2020-02-14 |
分类号 | C30B11/00;B22D27/04 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 冯宏伟;秦虎;曹荣;韦恩润 | 申请(专利权)人 | 江苏永瀚特种合金技术股份有限公司 |
代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 曹祖良 |
地址 | 214161 江苏省无锡市滨湖区胡埭镇刘闾路11号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供一种定向/单晶真空炉用气液双介质冷却结晶环,结晶环包括水冷环和气冷环;气冷环设置在水冷环上方;水冷环包括水冷环体和水冷管路,所述水冷环通过水冷管路与真空炉水冷系统相连;气冷环包括气冷环体、环体上设置的气冷喷环及气冷管路,气冷环通过气冷管路与惰性气体发生装置相连,惰性气体经喷环喷至模壳上。本结晶环安装在真空炉的冷却装置中,可以增强定向凝固及单晶生产过程中的整体冷却强度,提高温度梯度,增大冷却速率,提高单晶叶片的质量和性能。 |
