一种抑制泡生法蓝宝石单晶缩肩的冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN202010708972.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111850688A | 公开（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申请公布号 | CN111850688A | 申请公布日 | 2020-10-30 |
| 分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 左洪波;杨鑫宏;李铁;吴岩 | 申请（专利权）人 | 哈尔滨秋硕半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种抑制泡生法生长蓝宝石单晶缩肩的冷却装置。该结构整体由导热管、吸热管、散热管组成，导热管为圆环形管路，位于坩埚与加热体之间上部四分之一位置，围绕并靠近坩埚，不与加热体接触，吸热管、散热管与导热管连通且位置对称，通过小炉盖延伸至炉体外部，并与蒸发机连接。导热管、吸热管、散热管均为钨钼材质。本发明结构简单，便于安装、拆卸、维修，同时可灵活调节单晶上部缩肩位置换热量，进而改变晶体生长形态，有效抑制晶体缩肩，提高晶体出材。 |
