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一种泡生法蓝宝石单晶炉用坩埚盖结构

基本信息

申请号	CN202010707407.3	申请日	-
公开（公告）号	CN111850687A	公开（公告）日	2020-10-30
申请公布号	CN111850687A	申请公布日	2020-10-30
分类号	C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	左洪波;杨鑫宏;李铁;马宗羽	申请（专利权）人	哈尔滨秋硕半导体科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种泡生法蓝宝石单晶炉用坩埚盖结构，该结构整体由圆环钼板、钨板、间隔钼板用的钼螺母、整体通过钼螺栓以及钼丝固定连接，圆环钼板包括至少两层圆形钼片；圆形钼片、钨板中间留有直径不同的同心圆内孔，整体由间隔钼板用的钼螺母、钼螺栓以及钼丝制作的铆钉固定；坩埚盖包括上半部圆环和下半部圆环，上半部圆环外径大于下半部圆环外径，上半部圆环和下半部圆环圆心相同外径不同，同心圆内孔直径从上到下先变小在变大；每层钼片内径尺寸也不相同，坩埚盖的最下层钨板为圆形；每层钼板、钨板之间由钼螺母间隔，通过钼螺栓、钼丝穿接固定。本发明由钼丝以及间隔钼片的钼螺母穿接固定，形成头尾片可灵活拆卸结构，可以有效减小放肩阶段生长界面的底部圆锥角度，降低大尺寸晶体肩部缺陷，提高晶体晶体良率。