一种抑制泡生法蓝宝石单晶缩肩的冷却装置
基本信息
申请号 | CN202021451290.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212505156U | 公开(公告)日 | 2021-02-09 |
申请公布号 | CN212505156U | 申请公布日 | 2021-02-09 |
分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 左洪波;杨鑫宏;李铁;吴岩 | 申请(专利权)人 | 哈尔滨秋硕半导体科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种抑制泡生法生长蓝宝石单晶缩肩的冷却装置。该结构整体由导热管、吸热管、散热管组成,导热管为圆环形管路,位于坩埚与加热体之间上部四分之一位置,围绕并靠近坩埚,不与加热体接触,吸热管、散热管与导热管连通且位置对称,通过小炉盖延伸至炉体外部,并与蒸发机连接。导热管、吸热管、散热管均为钨钼材质。本实用新型结构简单,便于安装、拆卸、维修,同时可灵活调节单晶上部缩肩位置换热量,进而改变晶体生长形态,有效抑制晶体缩肩,提高晶体出材。 |
