一种用于多件蓝宝石晶棒端面校准的工装

基本信息

申请号 CN202120154549.1 申请日 -
公开(公告)号 CN214445206U 公开(公告)日 2021-10-22
申请公布号 CN214445206U 申请公布日 2021-10-22
分类号 B24B9/06;B24B41/06 分类 磨削;抛光;
发明人 左洪波;杨鑫宏;李铁;赵汉清;卜祥春 申请(专利权)人 哈尔滨秋硕半导体科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种用于多件蓝宝石晶棒端面校准的工装。它包括底座和晶棒夹具,其中底座由底板、侧板和紧固轮组成,晶棒夹具由支撑侧板、夹持盖板、盖板螺栓和夹持槽组成;晶棒夹具倒置于底座顶端,晶棒夹具内竖直设置蓝宝石晶棒;底座的底板和侧板组成“凹”形结构,紧固轮位于侧板顶端;晶棒夹具由底座的侧板顶端承托并由紧固轮固定;晶棒夹具的两侧支撑侧板与两个夹持盖板连接,组成方框结构,盖板螺栓位于夹持盖板外侧,夹持槽位于夹持盖板内侧,盖板螺栓穿过夹持盖板与夹持槽连接。本实用新型一次可校准多件蓝宝石晶棒端面,可大幅度提高加工效率,结构简单,装卸方便,易于操作。