载带芯片脏污识别清洗设备及清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202111322950.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113770124B | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN113770124B | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | B08B7/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 袁超;张宗杰;程世翀 | 申请（专利权）人 | 新恒汇电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 青岛发思特专利商标代理有限公司 | 代理人 | 刘涛 |
| 地址 | 255086山东省淄博市高新区中润大道187号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及载带芯片脏污识别清理技术领域，具体涉及一种载带芯片脏污识别清洗设备及清洗方法。该载带芯片脏污识别清洗设备包括放料系统及收料系统，放料系统与收料系统之间设置清理通道，清理通道上方设置有清洁系统，清洁系统靠近放料系统的一侧设置有检测系统；清洁系统包括等离子表面处理机，等离子表面处理机连接有朝向清理通道设置的等离子枪头；放料系统、收料系统、清洁系统及检测系统均连接控制系统。提供一种对载带芯片表面进行清洗，提高产品合格率的载带芯片脏污识别清洗设备。 |
