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一种差动电容式微机械加速度计

基本信息

申请号 CN200710179596.6 申请日 -
公开（公告）号 CN101187674A 公开（公告）日 2008-05-28
申请公布号 CN101187674A 申请公布日 2008-05-28
分类号 G01P15/125(2006.01) 分类 测量；测试;
发明人 高宏;丁炜;毕国楦;胡向阳;董景新;张嵘 申请（专利权）人 北京通智信达科技有限公司
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所 代理人 紫光通讯科技有限公司
地址 100084北京市海淀区清华大学紫光大楼503室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种差动电容式微机械加速度计，属于微机电系统(MEMS)中的惯性传感器领域，本速度计包括由硅片、绝缘层和可动电极组成的敏感质量元件、固定电极、基片、折叠梁；可动电极以栅状等间距分布在硅片上，绝缘层将各个可动电极在空间上隔离开；折叠梁构造在敏感质量元件两端，并通过立柱固定于基片上，使整个可动电极平面相对基片平面悬空平行；该固定电极等间距布置在基片上，固定电极与可动电极交错配置，形成一组差动电容。本发明增大了质量块的敏感质量，从而大幅度提高灵敏度和分辨率。本发明结构简单，并使用集成电路平面制造工艺加工可动电极和固定电极，成本低廉、加工工艺简单，可重复性强、成品率高、易于批量生产。