一种镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202110557721.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113151799A | 公开（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申请公布号 | CN113151799A | 申请公布日 | 2021-07-23 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/50 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李俊华;王文;丁家昌;艾其波 | 申请（专利权）人 | 安徽亦高光电科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 南昌恒桥知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杨志宇 |
| 地址 | 237000 安徽省六安市舒城县杭埠镇经济开发区杭埠园区产投产业园D3幢（香樟大道与石兰路交叉口） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种镀膜机，其特征在于：包括真空室、基片架、镀前清洗机、AF前清洗机，所述真空室内设置有旋转平台，所述真空室绕圆周均匀设置有真空镀膜腔，所述真空室为高1.8m、直径3m的圆心结构，使得真空室体积处于6‑18m3之间。所述真空室为圆形立柱，内部下端安装有360旋转轨道，所述轨道上设置有旋转轴承，所述旋转轴承下方设置有轴承电机，所述轴承电机与所述旋转轴承控制连接，所述真空室上端设置有传输轨道，所述传输轨道根据设备镀膜腔数量对应分为若干链接点，所述链接点上均设置有光电感应器，本发明为一种高适应性、高效率、高质量的新型镀膜机。 |
