热阴极电离规灵敏度测试装置、方法及设备
基本信息
| 申请号 | CN202111652732.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114323429A | 公开（公告）日 | 2022-04-12 |
| 申请公布号 | CN114323429A | 申请公布日 | 2022-04-12 |
| 分类号 | G01L25/00（2006.01）I;G01L21/30（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘怡海;贺良武;柳灵 | 申请（专利权）人 | 成都睿宝电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都行之智信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐骥 |
| 地址 | 610000四川省成都市未来科技城（东部新区福田街道定水村8组1号附2号） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种热阴极电离规灵敏度测试装置、方法及设备，其特征在于，包括：热阴极电离规驱动模块、热阴极电离规收集极离子流采集模块、数据处理模块和人机交互模块，基于热阴极电离规，通过获取特定压强下下的热阴极电离规加速极电压、阴极发射电流及收集极离子流，对电离规电参数加速极电压以及阴极发射电流进行调节，使收集极离子流发生变化，通过观察收集极离子流变化，计算出电参数改变对电离规灵敏度的影响，从而调整热阴极电离规内各参数不断对热阴极电离规灵敏度进行修正，提高电离规测试准确度。 |
