沟槽式化学机械抛光保持环及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202010314529.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111496670A | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN111496670A | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | B24B37/32;B29C45/14 | 分类 | - |
| 发明人 | 相红旗;姚力军;潘杰 | 申请（专利权）人 | 宁波赢伟泰科新材料有限公司 |
| 代理机构 | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈仕超 |
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市三七市镇云山中路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及化学机械保持环的技术领域，具体是沟槽式化学机械抛光保持环及其制造方法，用于解决现有技术中金属环和塑料环通过粘合剂粘接在一起，从而导致了粘合剂可能外溢，粘合剂破碎后掉落出渣状颗粒，以及使金属环和保持环连接强度比较弱的问题。本发明包括金属环和塑料环，所述金属环包括安装面和结合面，所述结合面上开有沟槽，所述塑料环上设有通过注塑与沟槽卡接的凸缘。本发明中在注塑的过程中塑料环的凸缘直接与沟槽形成一体，从而可以极大的提高金属环和塑料环间的结合强度；金属环和塑料环间不需要通过粘合剂粘接在一起，不会存在粘合剂可能外溢和粘合剂破碎后掉落出渣状颗粒的问题。 |
