化学机械抛光保持环及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202010310315.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111496669A | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN111496669A | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | B24B37/32;H01L21/304 | 分类 | - |
| 发明人 | 相红旗;姚力军;潘杰;施建国 | 申请（专利权）人 | 宁波赢伟泰科新材料有限公司 |
| 代理机构 | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈仕超 |
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市三七市镇云山中路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及化学机械保持环的技术领域，具体是化学机械抛光保持环及其制造方法，用于解决现有技术中在金属环的结合面上开沟槽，由于金属环和塑料环使用的材料本身不同，热收缩膨胀系数不同，注塑该保持环时，塑料环与金属环之间会残留缝隙的问题。本发明包括金属环和塑料环，所述金属环包括安装面和结合面，所述结合面的边缘设有向外突出的外缘，所述塑料环与金属环通过注塑连接。本发明中对金属环注塑的时候，在外缘处会形成包持结构，额外的包持结构使得金属环与塑料环紧密地结合在一起，可以耐受温度变化带来的热收缩的影响和机械加工中受力的影响，从而可以极大的减小在金属环和塑料环结合部产生的缝隙。 |
