一种化学机械抛光清洗液及使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202010634290.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113881510A | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN113881510A | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | C11D1/14（2006.01）I;C11D1/22（2006.01）I;C11D1/72（2006.01）I;C11D1/722（2006.01）I;C11D1/78（2006.01）I;C11D3/60（2006.01）I;C11D3/06（2006.01）I;C11D3/20（2006.01）I;C11D3/33（2006.01）I;C11D3/36（2006.01）I;C11D3/37（2006.01）I | 分类 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛; |
| 发明人 | 卞鹏程;崔晓坤 | 申请（专利权）人 | 万华化学集团电子材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 264006山东省烟台市经济技术开发区北京中路50号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种化学机械抛光清洗液及其使用方法，该清洗液包含络合剂、表面活性剂、润湿剂、pH调节剂、余量为水。本发明的化学机械抛光清洗液是一种高度浓缩的清洗液，能够通过调节稀释倍数同时满足对化学机械抛光后的晶圆片和抛光垫的清洗。 |
