一种硬脆材料的激光加工方法
基本信息
| 申请号 | CN201810162883.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108406129B | 公开（公告）日 | 2020-02-07 |
| 申请公布号 | CN108406129B | 申请公布日 | 2020-02-07 |
| 分类号 | H01L21/304;B23K26/38;B23K26/0622 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 蒋仕彬 | 申请（专利权）人 | 苏州图森激光有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 苏州图森激光有限公司 |
| 地址 | 215129 江苏省苏州市苏州高新区鹿山路25号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种硬脆材料的激光加工方法，包括以下步骤：(1)提供一脉冲宽度可调谐的激光光源，调整激光焦点使之聚焦在待加工材料的第一表面；(2)调整激光脉冲宽度在0.02～2ns之间，获得短脉冲激光，采用短脉冲激光加工表层材料，在第一表面划开切割道，切割道的深度D1≤0.2mm；(3)调节脉冲宽度在4～10ns之间，获得长脉冲激光，采用长脉冲激光沿切割道继续加工，直至加工到距离第二表面的厚度D3≤0.2mm；(4)调节激光脉冲宽度，获得短脉冲激光，采用短脉冲激光加工剩余厚度D3，完成激光加工。本发明加工形成的崩边少，加工时间短，优化了整体加工效率。 |
