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感应式加热快速成膜处理装置

基本信息

申请号	CN03231428.0	申请日	-
公开（公告）号	CN2626172Y	公开（公告）日	2004-07-14
申请公布号	CN2626172Y	申请公布日	2004-07-14
分类号	H05B3/10	分类	其他类目不包含的电技术;
发明人	江莞;何树先;徐洪发;沈贵高	申请（专利权）人	苏州中科高温技术有限公司
代理机构	上海智信专利代理有限公司	代理人	中国科学院上海硅酸盐研究所;苏州吴中区苏城电器厂
地址	200050上海市定西路1295号
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种感应式加热快速成膜处理装置，其特征在于它由感应加热快速升温－控温系统部分和工件输送装置部分构成，所述的快速感应加热系统是由高频加热电源和控温系统，感应线圈和红外温度探测仪组成，感应线圈通过铜板与高频加热电源和控温系统相连；红外温度探测仪通过信息反馈系统与高频加热电源和控温系统连接的；所述的工作输送系统丝杠连接无级调速电机，下夹板通过导孔和螺纹与导机和丝杠连接；上夹板和导轨与固定杆连接，固定杆与下夹板固定连接。通过对工件输送装置的控制和调整能够使工件以适当的速度一边自旋转一边由下至上(或由上至下)运动，从而通过局部加热完成对整个工件实施连续、均匀的加热过程，实现逐次对工件表面进行热处理。