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电极板的制造方法

基本信息

申请号 CN201410530096.2 申请日 -
公开（公告）号 CN104319211A 公开（公告）日 2015-01-28
申请公布号 CN104319211A 申请公布日 2015-01-28
分类号 H01J9/02(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 朱焰焰;余凤斌;李建国;曾海军 申请（专利权）人 北川天讯新材料有限公司
代理机构 济南日新专利代理事务所 代理人 崔晓艳
地址 622750 四川省绵阳市北川羌族自治县山东产业园云盘南路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种电极板的制造方法，该电极板的制造方法包括步骤1，在玻璃基板上通过溅射工艺镀上ITO膜并通过光刻显影方法做出电极图形；步骤2，用感光胶膜均匀粘贴于步骤1的玻璃基板上，并通过光刻显影方法露出电极位置；步骤3，采用物理处理方法对步骤2玻璃基板进行前处理，提高基板表面的清洁度；步骤4，在步骤3处理后的玻璃基板上镀金属层；以及步骤5，将步骤4处理后的玻璃基板表面胶膜清洗掉，露出电极。该电极板的制造方法解决了现有电子器件电极制作成本高、工艺繁杂、原材料浪费严重、图形精度不够等问题。