一种精密设备测试装置

基本信息

申请号 CN202021875362.2 申请日 -
公开(公告)号 CN213209105U 公开(公告)日 2021-05-14
申请公布号 CN213209105U 申请公布日 2021-05-14
分类号 G01D21/00;G01D11/00;G01D11/30 分类 测量;测试;
发明人 张锐;阎硕;鲍禹辰 申请(专利权)人 东电检测技术服务(天津)有限公司
代理机构 天津企兴智财知识产权代理有限公司 代理人 陈雅洁
地址 300000 天津市滨海新区开发区微电子工业区微四路19号D-1
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种精密设备测试装置,括底部支撑台、左吸盘装置、右吸盘装置及中吸盘装置,所述底部支撑台置于工装底座上。将待测精密设备置于底部支撑台上,在根据精密设备的大小对底部支撑台、左吸盘装置、右吸盘装置及中吸盘装置进行调节,将精密设备吸附在吸盘装置上,对待测精密设备进行测试,工装底座上有软垫,防止精密设备的磕碰,吸盘装置上有防滑软垫,增强了装置的稳定性。本实用新型所述的精密设备测试装置结构简单,稳定性高,不易产生磕碰,能够测试各种形状的精密设备。