一种防止晶圆Map图移位的方法
基本信息
| 申请号 | CN201510535712.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106483443B | 公开（公告）日 | 2019-12-24 |
| 申请公布号 | CN106483443B | 申请公布日 | 2019-12-24 |
| 分类号 | G01R31/28 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李亮;杨颖超;李鑫 | 申请（专利权）人 | 北京确安科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王莹 |
| 地址 | 100094 北京市海淀区永丰基地丰贤中路7号孵化楼A楼2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种在晶圆测试过程中防止Map图移位的方法，在晶圆测试之前，做PTPA时，不用探针台设备常规的方法，而是采用手动选择模式找针，选定距离最远的特定两个site的探针做为定位site。该方法解决了多site并行测试过程中Map图移位的发生，是一个有效、可靠的预防方法。 |
