一种基于MES的晶圆测试方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN201910031026.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111435146A | 公开（公告）日 | 2020-07-21 |
| 申请公布号 | CN111435146A | 申请公布日 | 2020-07-21 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I;G06F9/451(2018.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 金兰 | 申请（专利权）人 | 北京确安科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王莹;李相雨 |
| 地址 | 100094北京市海淀区永丰基地丰贤中路7号孵化楼A楼二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例提供一种基于MES的晶圆测试方法及系统，该方法包括：根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取对应的测试信息，并将批次信息及测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动测试机UI模块；测试机UI模块通过读取配置文件获取测试程序存储路径，调用测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用测试程序对待测晶圆进行测试。本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法及系统，克服了直接使用UI样本程序的不足和缺陷，将之前在UI上的大量手动录入操作代替为系统自动操作，减轻操作员工作量，降低误操作的可能性。 |
