用于ICP源的冷却屏蔽体
基本信息
| 申请号 | CN202111571118.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114695053A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114695053A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 龙茂林 | 申请（专利权）人 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京易光知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开提供了包括等离子体室和感应耦合的等离子体源的等离子体处理设备或系统。所述屏蔽装置被设置在等离子体室和感应耦合的等离子体源之间。屏蔽装置包括顶环形部分、底环形部分和多个热垫，所述热垫通过一个或多个保持构件被接合到顶环形部分和/或底环形部分。所述一个或多个保持构件提供压缩力以抵靠介电壁的外表面固定一个或多个热垫。多个热垫被配置为调节从介电壁到相应热垫的热通量。本公开还公开了处理工件的方法。 |
