末端执行器和用于处理工件的系统
基本信息
| 申请号 | CN202210475606.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114743854A | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN114743854A | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马丁·L·朱克;P·J·伦贝西斯;T·特维斯;瑞安·帕库尔斯基;马绍铭;杨晓晅 | 申请（专利权）人 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京易光知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 提供了一种用于在处理工件的系统内移动工件和可更换部件的末端执行器，末端执行器沿着轴向在近端和远端之间延伸。该末端执行器包括：臂部分，沿着轴向在第一臂端与第二臂端之间延伸，第一臂端位于末端执行器的近端；刮刀部分，沿着轴向在第一刮刀端和第二刮刀端之间延伸，第一刮刀端与第二臂端相邻，且第二刮刀端位于末端执行器的远端；第一支撑构件，从刮刀部分的上表面向外延伸；第二支撑构件，从刮刀部分的上表面向外延伸；和，共用的支撑构件，从臂部分的上表面向外延伸，其中，共用的支撑构件和第一支撑构件一起被配置为支撑第一直径的工件，共用的支撑构件和第二支撑构件一起被配置为支撑第二直径的可更换部件。 |
