带有外部气体通道插入件的工件处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202111587556.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114695056A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114695056A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 龙茂林;W·曾 | 申请（专利权）人 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京易光知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开提供了一种用于将气体注入处理腔室的气体注入组件。在一些示例中，气体注入组件可以包括用于接收气流的入口。气体注入组件可以包括用于分配自入口接收的气流的多个气体进料口。气体注入组件可以包括竖直布置在气体注入组件内侧的多个子通道，多个子通道包括：上部子通道，用于接收来自入口的气流，并将气流细分至一组孔口，以形成第一气流分支和第二气流分支，第一气流分支对应于通过一组孔口的第一子组的气流的第一部分，并且第二气流分支对应于通过一组孔口的第二子组的气流的第二部分；以及多个出口子通道，用于将气流细分至多个气体进料口。 |
