使用臭氧气体和氢自由基的工件加工
基本信息
| 申请号 | CN202210367378.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114664656A | 公开（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申请公布号 | CN114664656A | 申请公布日 | 2022-06-24 |
| 分类号 | H01L21/3213（2006.01）I;H01L21/311（2006.01）I;H01L21/768（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张祺;杨海春;仲華;杨晓晅 | 申请（专利权）人 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京易光知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 提供了一种用于加工工件的方法，工件包括铜层和钌层，该方法包括：将工件放置在加工腔室中的工件支撑件上，工件已经使用化学机械抛光CMP工艺被加工以至少部分地去除铜层；在钌层上进行臭氧蚀刻工艺，以至少部分地去除钌层，其中，臭氧蚀刻工艺包括将工件暴露于含有臭氧气体的工艺气体；在工件上进行氢自由基处理工艺，以去除存在于铜层上的氧化物层的至少一部分，其中，氢自由基处理工艺包括通过将含氢气体与等离子体源下游的一种或多种激发的惰性气体分子混合产生一个或多个氢自由基；以及，从加工腔室取出工件。 |
