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具有均匀性控制的等离子体剥离工具

基本信息

申请号 CN201880038239.4 申请日 -
公开（公告）号 CN110731000B 公开（公告）日 2022-06-03
申请公布号 CN110731000B 申请公布日 2022-06-03
分类号 H01J37/32（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 马绍铭;弗拉迪米尔·纳戈尔尼;D·V·德塞;瑞安·M·帕库尔斯基 申请（专利权）人 北京屹唐半导体科技股份有限公司
代理机构 北京易光知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 美国加利福尼亚州
法律状态 -

摘要

摘要 提供了具有处理均匀性控制的等离子体剥离工具。在一个示例性实施方式中，等离子体处理设备包括处理室。该设备包括在处理室中的第一基座，其可进行操作以支撑工件。第一基座可以限定第一处理站。等离子体处理设备可以包括在处理室中的第二基座，其可进行操作以支撑工件。第二基座可以限定第二处理站。该设备可以包括设置在第一处理站上方的第一等离子体室。第一等离子体室可以与第一感应等离子体源相关联。第一等离子体室可以通过第一分离格栅与处理室隔开。该设备可以包括设置在第二处理站上方的第二等离子体室。第二等离子体室可以与第二感应等离子体源相关联。第二等离子体室可以通过第二分离格栅与处理室隔开。