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一种多晶太阳电池减反射膜的扩容镀膜工艺

基本信息

申请号	CN201910858991.X	申请日	-
公开（公告）号	CN110600556B	公开（公告）日	2020-12-15
申请公布号	CN110600556B	申请公布日	2020-12-15
分类号	H01L31/0216;H01L31/18;C23C16/34;C23C16/505;C23C28/04	分类	基本电气元件;
发明人	高越;倪佳;张华东	申请（专利权）人	浙江德西瑞无纺科技有限公司
代理机构	浙江永航联科专利代理有限公司	代理人	蔡鼎
地址	314400 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区仙侠路116号
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种多晶太阳电池减反射膜的扩容镀膜工艺，属于电池片加工技术领域。它解决了现有电池片加工效率慢、色差大的等技术问题。一种多晶太阳电池减反射膜的扩容镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1、对镀膜腔室内充入N₂进行吹扫，将电池片制绒后放置石墨舟并置于镀膜腔室中进行加热；S2、对镀膜腔室抽空并形成真空状态；S3、对镀膜腔室内通入NH₃、SiH₄，启动射频发射器，功率为11250w，使其电池片表面形成第一层膜；S4、关闭射频发射器，并持续通入NH₃、SiH₄，镀膜腔室内压力提高至1600Pa，使其电池片的第一层膜表面形成第二层膜；S5、抽空；S6、出舟。本发明具有加工效率高、色差小的优点。