一种晶圆测试探针卡
基本信息
| 申请号 | CN202020478728.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213023246U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213023246U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | G01R1/067(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 洪流;简维廷;钟贤岱 | 申请（专利权）人 | 洪启集成电路（珠海）有限公司 |
| 代理机构 | 广州骏思知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张金龙 |
| 地址 | 519080广东省珠海市高新区唐家湾镇港湾大道科技一路10号主楼第六层602房0单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆测试探针卡，包括底层PCB板，在底层PCB板上固定设置有测试探针，所述测试探针包括中空的探针柱、探针头，所述探针柱一端连接PCB板，另一端连接所述探针头，所述探针柱形同气缸结构，往探针柱中通入气压，活塞推动探针向下移动，当探针和焊盘接触时探针会产生形变，当形变的力大小达到测试所需要的力大小时，接触良好，针停止移动，此时的力与测试所需要的接触力相等，测试完成时，关闭气压，活塞带动针返回原来位置。本实用新型所述的探针卡可以在不增加损坏产品风险的基础上，控制每根探针在测试时接触力的大小与所需要的力相等，最大程度上减少接触不良问题。 |
