一种OLED的TEM样品制备方法以及一种OLED的TEM样品专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种OLED的TEM样品制备方法以及一种OLED的TEM样品

基本信息

申请号	CN202110254083.7	申请日	-
公开（公告）号	CN112881439A	公开（公告）日	2021-06-01
申请公布号	CN112881439A	申请公布日	2021-06-01
分类号	G01N23/04;G01N1/28	分类	测量；测试;
发明人	张启华;张勇为;袁元;吴文静;蒋军浩;简维廷;张洁;其他发明人请求不公开姓名	申请（专利权）人	洪启集成电路（珠海）有限公司
代理机构	广州骏思知识产权代理有限公司	代理人	潘桂生
地址	519080 广东省珠海市高新区唐家湾镇哈工大路1号1栋C106
法律状态	-

摘要

本发明的提供一种OLED的TEM样品制备方法，在OLED样品的所述切割区域设置金属有机气体化合物，通过FIB将所述金属有机气体化合物进行分解沉积在所述切割区域表面形成保护层；在表面沉积有保护层的所述切割区域，挖设两个相交的槽形成待取样的样品，将所述待取样的样品加工成楔形的形状，其中，加工后的所述待取样的样品的两个横截面沿着其相交的一端到另一端的厚度均不相同；将待取样的样品的底部切断，通过探针固定待取样的样品，切断待取样的样品剩余与样品连接的部分，得到初步的TEM样品；将初步的TEM样品放置于铜网上进行减薄，获得最终的TEM样品。能够在单个样品的横截面拥有不同的厚度，清楚辨别不同材料层之间的界面，从而量测不同材料层的厚度。