一种新型热阴极电弧装置
基本信息
| 申请号 | CN200920133064.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201427990Y | 公开（公告）日 | 2010-03-24 |
| 申请公布号 | CN201427990Y | 申请公布日 | 2010-03-24 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王宇;王强 | 申请（专利权）人 | 深圳市振恒昌实业有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙岗区同乐村丁甲岭工业区9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种新型热阴极电弧装置，包括：引弧装置、水冷装置、靶材、固定靶材的靶材固定装置、磁场装置、磁场装置外围的屏蔽罩，其特征是：所述引弧装置包括微型汽缸、固定微型汽缸的汽缸固定绝缘板、一端连接汽缸杆和定位块，另一端固定引弧针的引弧杆、固定引弧杆的固定座，及连接汽缸固定绝缘板和固定座的支撑杆；所述靶材固定装置包括外座体，置于外座体内部的内座体，置于内座体与外座体之间的外表面上的水咀座和连接座。采用气动引弧，力量大，速度快，故障率低；采用间接水冷，水冷效果好；更换靶材方便外屏蔽罩采用尼龙材质，使得装置结构简化，成本大幅度降低。 |
