可调角度百叶窗式节流阀

基本信息

申请号 CN200920133065.8 申请日 -
公开(公告)号 CN201427991Y 公开(公告)日 2010-03-24
申请公布号 CN201427991Y 申请公布日 2010-03-24
分类号 C23C14/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 王宇;张强 申请(专利权)人 深圳市振恒昌实业有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518000广东省深圳市龙岗区同乐村丁甲岭工业区9号
法律状态 -

摘要

摘要 可调角度百叶窗式节流阀是用在真空镀膜系统中的,它包括动力源和阀体本体,动力源包括步进电机和由步进电机带动的齿轮,齿轮包括小齿轮和大齿轮,大齿轮固接阀体本体的引出轴;阀体本体还包括有多片节流板,所有节流板通过连接杆连接在一起,中间位置的节流板一端固接引出轴,另一端固接转轴,除中间位置的其它节流板两端都固接有转轴;步进电机带动齿轮转动,齿轮带动引出轴,并且带动所有节流板同时进行转动,节流板转过不同角度,在真空接口处形成不同的流导,可以实现不同的充气量,真空度稳定在某一相同值;采用多块节流板,可以减小节流板回转半径,减小装配空间。