可调角度百叶窗式节流阀
基本信息
| 申请号 | CN200920133065.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201427991Y | 公开（公告）日 | 2010-03-24 |
| 申请公布号 | CN201427991Y | 申请公布日 | 2010-03-24 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王宇;张强 | 申请（专利权）人 | 深圳市振恒昌实业有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙岗区同乐村丁甲岭工业区9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 可调角度百叶窗式节流阀是用在真空镀膜系统中的，它包括动力源和阀体本体，动力源包括步进电机和由步进电机带动的齿轮，齿轮包括小齿轮和大齿轮，大齿轮固接阀体本体的引出轴；阀体本体还包括有多片节流板，所有节流板通过连接杆连接在一起，中间位置的节流板一端固接引出轴，另一端固接转轴，除中间位置的其它节流板两端都固接有转轴；步进电机带动齿轮转动，齿轮带动引出轴，并且带动所有节流板同时进行转动，节流板转过不同角度，在真空接口处形成不同的流导，可以实现不同的充气量，真空度稳定在某一相同值；采用多块节流板，可以减小节流板回转半径，减小装配空间。 |
